硅微粉加工设备的选择显得尤为重要，研磨和分级设备选择的好坏将直接影响到最终产品的产量、质量和粉体颗粒的形状。目前，国内外超细研磨分级设备的机组组合主要有三种类型：球磨加分级、振动磨加分级、偏心振动磨加分级。有一些硅微粉的企业用户对硅微粉的纯度要求比较高，就会要求厂家采用气流磨生产工艺，这是由于气流磨不会使用研磨介质，几乎不会引入因介质损耗而生成的杂质。但是气流磨生产出来的硅微粉综合成本较高，粉体超细化困难，一般用户也用不起气流磨生产的硅微粉。为保证硅微粉的高纯度、低导电性，一般会对研磨设备进行改装。例如，球磨机的研磨介质-锆珠和内衬板会改为陶瓷珠和陶瓷材质的内衬板。。硅微粉的生产工艺一般根据原矿性质和矿石物化等特性及用户要求而大同小异。球磨机目前是最合适的加工设备，因为石英坚硬、耐磨（一般莫氏硬度达到7），单纯依靠介质的研磨作用很难获得理想细度的粉磨产品，因此在硅微粉研磨的过程中往往加入一定量的助磨剂用以改善研磨效果。硅微粉的超细化生产，则在粗制石英砂或硅微粉的基础上进一步地超细粉碎或研磨分级而获得。关键以物理学破碎为基本，分成干法和湿式，干法步骤：入料、研磨、 分级、包装；湿式步骤：入料、研磨、脱水、分散、干燥、包裝。干法生产工艺便捷、成本低，一般硅微粉生产厂家都选用该生产工艺，而湿法工艺需要干燥分解，工艺复杂，生产成本高。
