由于金属硅微粉在凝固的时候，由于定向凝固的作用，金属杂质大多在晶界表面，所以在破碎的过程中，颗粒表面的杂质的数量相对与颗粒内部来说，还是比较多的。因此，浸入化学药剂是冶金法交晶硅的一个有价值的中间工艺。这种方法也称为湿法治金，目前采用物理法提纯多晶硅的公司中，使用此方法的不少。只不过，各家在药剂的选取、处理的工艺和手段都各不相同。但湿法冶金的工艺出来的硅微料是粉状的，粉料到了真空炉进行真空熔炼的时候，对真空炉内的热场材料和真空系统的损害比较大，这是湿法治金的一个弱点。通常，湿法冶金如果工艺正确的话，与炉外精炼所得到的硅料的纯度接近。由于耗电小，不需要高温工艺，因此，许多公司用湿法冶金代替炉外精炼作为金属硅后和真空熔炼前的中间工艺。
