真空熔炼与定向凝固经过精炼的硅微粉，要提纯硅微粉，首先要经过真空熔炼提纯。真空熔炼，就是在真空的条件下，对金属硅进行提纯的手段。通常，包括真空造渣，真空吹气等两个阶段，真空熔炼，就是在真空的条件下，对金属硅进行提純的手段。通常，包括真空造渣，真空吹气等两个阶段真空造渣，与精炼的渣系完全不一样。首先，由于原料己经是纯度较高的多晶硅，因此，造渣剂放入的量不能也不必像在炉外精炼的造渣剂的量那么大。此外，造渣剂实际上指的是，能够将那些很难从硅中分离的杂质氧化成为化合物，而这些化合物要么浮上硅表面成为渣，或者沉在坦场底部作为沉淀，或者委成气体逸出。总之，目的是使杂质更容易从硅微粉中析出。真空吹气，就是指对熔融硅液通入气体，目的是让通入的气体与硅中的杂质进行反应，同时也加大造渣剂与硅液的接触面积和时间，使之能充分反应，反应后生成新的气体逸出并被真空系统抽出炉外。
