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超纯硅微粉的杂质浓度与电阻率的关系

发布时间:2022-05-21 14:43:38人气:

在半导体电子级的硅微粉材料中,由于通常都是先将硅微粉提纯到很高的纯度,比如11个9 或者10个9 左右,之后再进行摻杂,所以,硅微粉材料中的杂质比较单纯。例如,用来进行生产单晶硅太阳能电池片的多晶硅材料,硅微粉的纯度通常可以达到9个9的纯度,然后对硼摻杂到大约1ppma的量级,而这时,其它的杂质都会小于 1ppb,这种情况下,如果硼的杂质浓度有变化,比如万一掺杂的比例弄错了,或者结品的情况不理想导致各个部分有差异。其实并不需要对单晶硅棒的各个部位进行取样也能知道硼的浓度分布如何。方法很简单,就是测量电阻率的分布,就可以知道各个部位的硼的含量了。因为,硼的浓度就代表了载流子的浓度,直接与电导率量正比关系,所以在各个部位的硼的浓度是与电阻率星倒数关系的。同理,对于纯粹的N型半导体,也可以知道磷的浓度分布。

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