硅微粉中的碳元素主要来源：硅矿自带的碳元素、一是金属硅吹氧不充分，可能将一些碳元素带入硅材料中，除硅中的碳元素另外，在多晶硅和单晶硅微粉材料中，由于通第采用石墨加热件和碳毡保温体，因此在高温下，因此会有碳蒸汽的挥发，进入到硅微粉材料中，也会增加硅中的碳含量。但由于碳的分凝系数只有0.07。因此，在定向凝固时，碳将聚集在硅锭的顶都，或单晶硅坩埚的锅底，碳与硅同族，一次碳在硅中不会产生施主或受主作用。不过碳的存在还是会对硅的性质产生一定的影响，通常，在直拉单晶和多晶硅铸锭的时候，碳自身时很难形成沉淀的，也很难与氧生成氧沉淀或碳氧复合体，但是如果在从高温到低温又向高温进行退火处理的时候，则硅中的碳浓度和氧浓度同时发生变化，因此：有专家推测在退火过程中，碳原子能够成为氧沉淀的核心：形成原生氧沉淀但这种沉淀是不稳定的，在高温下，又会溶解，导碳氧浓度又上升，从而对材料产生影响。
