由于硅微粉的制作工艺不同，硅微粉的主晶相也不同，硅微粉是微粉的一种，而微粉的分类又有很多种，目前较为普遍的有三种：微粉、超微粉、极微粒子。一般应用于陶瓷化硅橡胶和耐火材料中的微粉在0.1—10um之间，而陶瓷化硅橡胶和耐火材料工业中所以的二氧化硅微粉主要是纳米级。硅微粉按制作分类可分为以下几类：
1.硅灰：或称冷凝硅灰，由铁合金后气相沉淀而形成：它是大工业冶炼中的副产物，整个过程需要用除尘环保设备进行回收，因为质量比较轻，还需要用加密设备进行加密；
2.粉石英：天然矿物：由微粒石英组成的、颗粒直径为一协的致密石英岩，在表生风化作用下发生了形体碎裂，细碎而为粉石英。
3.粉碎机磨制的 Si02 微粉：
4.填料用白炭黑：指沉淀二氧化硅、气相二氧化硅和超细二氧化硅凝胶，也包括粉末状合成硅酸铝和硅酸钙等；
5.电子工业副产品；
6.表面经硅烷偶联化处理的活性 Si02 微粉：硅烷偶联剂是一类具有特殊结构的低分子有机硅化合物；
7.熔融石英微粉：天然高纯石英在高温下其微观结构会变成无定型结构的熔融石英。熔融硅微粉是选用优质熔融石英，经过特殊研磨工艺加工而成, 产品纯度很高、粒度分布可控。
