目前，硅微粉的制备方法主要包括物理法和化学法，物理法包括高温熔融喷射法、等离子体法、火焰成球法。高温熔融喷射法是将高纯度石英在2100~ 2500℃下熔融为液体，经过喷雾、冷却，得到球形硅微粉。此法最易保证球化率和无定形率，但不易解决纯度和雾化粒径调整等问题；等离子体法的基本原理是利用等离子矩的高温区将二氧化硅粉体熔化，由于液体表面张力的作用形成球形液滴，在快速冷却过程中形成球形化颗粒。此法能量高、传热快、冷却快，制备的产品形貌可控、纯度高、无团聚；火焰成球法首先对进行粉碎、筛分、提纯等前处理，然后将石英微粉送入燃气—氧气产生的高温场中，进行高温熔融、冷却成球，最终形成高纯度球形硅微粉，与等离子法和高温熔融喷射法相比更易控制，更能实现工业化大规模生产，也是更具发展前途的生产工艺。
