硅微粉的化学制备方法主要包括气相法、溶胶-凝胶法、沉淀法、微乳液法、水热合成法、气相法是由硅的卤化物在高温下水解制得的一种精细、特殊的无定形粉体材料,纯度大于99. 8%,比表面积为100~400 m2/g,折射率为1. 46且介电性极好的SiO2;溶胶-凝胶法是金属有机或无机化合物经过溶液、溶胶、凝胶而固化,再经热处理而形成的氧化物或其他化合物固体的方法。此法的优点是化学均匀性好、颗粒细、纯度高、设备简单,粉体活性高;沉淀法以水玻璃和酸化剂为原料,适时加入表面活性剂,控制反应温度,在沉淀溶液pH 值为8 时加稳定剂,所得沉淀经洗涤、干燥,煅烧后形成硅微粉。沉淀粒生产的硅微粉径均匀且成本低,工艺易控制,有利于工业化生产;微乳液法是利用两种互不相溶的溶剂在表面活性剂的作用下形成均匀的乳液,使成核、生产、聚结、团聚等过程局限在一个微小的球形液滴内,从乳液中析出固相,形成球形颗粒,具有粒度分布窄、粒径可控、分散性好等优点;水热合成法一般在100~350℃ 温度和高压环境下,使无机和有机化合物与水化合,通过对加速渗析反应和物理过程的控制,得到改进的无机物,再经过滤、洗涤、干燥,得到高纯、超细的微粒子。水热法的优点是可直接生成氧化物,降低了硬团聚的形成几率。