对于物理法提纯的硅微粉来说，除了磷和硼会同时存在外，还有铁、铝、钙等金属杂质，即便是化学提纯，也能通过加工的时候混入其他杂质，也会出现复杂的情况。同时，对于一些采用电子级回收料（次级料、重摻料）、单晶头尾料、锅底料，单晶及多晶的边角料与原生多晶硅微粉混摻拉晶的情况，杂质的成分则更为复杂由于现在多晶硅微粉价格高，据研究表明我国内几大公司生产电池，几乎没有哪个太阳能公司用纯的原生多晶硅微粉来制作太阳能电池，全部是用的掺料之后才拉单晶制成的硅片。这样看来，硅微粉中杂质的分析，似乎不仅仅只对物理法多晶硅微粉有意义了。目前，采用物理法提纯得较好的硅微粉，通常在硅材料中所剩余的金属杂质量在0.1ppm以上的，只有铁、铝、钙三种，而提纯得不好的硅微粉，里面除了上述三种外，还有钛、锰、钨、钴、钒、铬等。
